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新型的硅基底MEMS微带天线
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内容简介：针对硅基底微带天线的缺陷,结合MEMS技术的体微加工技术和表面微加工技术对基底材料进行处理,以达到改善天线性能的目标.设计了一种MEMS层叠式硅基底与介质型光子晶体相结合的新型微带天线.最后利用HFSS 14.0对该结构进行仿真.结果表明,该结构天线的相对带宽达到23％且天线的回波损耗为-41 dB,相对于普通硅基底天线的相对带宽4％和回波损耗-14.5 dB有了明显改善.
作者：白芮欣, 刘建霞, 蔡冬梅,
关键词：MEMS技术, 体微加工技术, 表面微加工技术, 微带天线, 光子晶体, 带宽, 回波损耗,
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