HFSS搭建5层金属模型的问题
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菜鸟想用HFSS搭建5层金属模型，请问65nm工艺下，每层介质层的厚度，silicon nitrate厚度，以及使用哪种介质材料，多晶以及衬底的厚度，请各位路过大牛帮忙哈！不胜赶紧！
看你用什么工艺了，不同的工艺材料参数是不一样的
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