求教用HFSS仿真无源平面电感

对于一个无源电感，类似于full_book中的spiral inductor，只是在SiO2层上面多加了一层无源介质层 
具体参数如下： 
最下面一层是Si，厚度525um 
上面成长一层SiO2，厚度0.5um 
然后在上面覆盖一层介质层，厚度10um 
在介质层上面用铜作平面电感，厚度10um 
 
我用HFSS仿真2G，扫描0.1-10G，网格数设置为10w，观察电感的Q值 
发现仿真结果有以下几个问题： 
1。在低频0.1-1G时，仿真曲线不平滑，有凸起 
2。增加介质层厚度（从10->15->20->25->30等），按理Q应该增加，但仿真中10与15结果相近，20与25结果相近，以此类推。 
 
我老板给出的结论是网格的问题，但是对于525um以及0.5um和10um，该如何分别设置网格比较合适，我曾简单试过，但没有理论根据，ms解决不了问题 
 
下图是仿真的结果，麻烦大家出出主意，我是一个HFSS新手，对于电磁场理论知道的也不多，还请大家多多帮忙讨论讨论，谢谢了：）

网友回复:

最好能够附一个仿真源文件！ 
至于你说的，我想跟设置应该会有关系！不过，像这样晶体管级的设计，设置不能粗糙，网格划分精细点，牺牲一些仿真时间是必要的。 
 
题外话： 
这个是世界级的课题！ 
如果能够做出Q值超过100的半导体工艺螺旋电感，你可以去申请诺奖了！

网友回复:

谢谢楼上的牛人：） 
我将仿真文件贴上，供大家参考 
现在的问题还是低频时各种厚度介质层的曲线都重合 
我准备分段仿真查看一下，即0.1-1G，1-3G，3-10G，中心点分别是0.5，2和6.5G 
对于网格的划分 
我才用的是自动划分 
也曾用过手工分结构划分 
但是结果变化不明显 
很有可能是我手工划分得不对 
因为我对有限元仿真及网格划分等知道得太少了，这是第一次做。。 
 
还请大家帮忙看看，谢谢了：） 
 
btw：平面电感有做到100的吗？我看文献都没看到，我能做到25老板就可以让我毕业了：（ 
另外还加了一个文献的结果

网友回复:

呵呵，牛人不敢，道听途说的！ 
据说，目前最好的是30几！

网友回复:

曾经有仿真过平面电感，（基于PCB的）！ 
建议你采用八边型的，方形的磁场分布非常的不均匀。 
像你这个尺寸这么大的要实现25的Q值应该不难！

网友回复:

文献上ms就是30 
关键是老板要求仿真一定要准确，才能跑工艺流水

网友回复:

你这个应该是半导体工艺的吧！ 
那线圈、过孔为什么还用铜，半导体工艺可以实现吗？（这个在RFIC里面的做法我不是很清楚，还请多多指教！因为传统的半导体工艺是铝做金属导体的，过孔还真不知道怎么处理，应该不是铜吧！） 
还有，你改变介质厚度，过孔高度，有没有相应跟着改变？

网友回复:

是半导体封装工艺 
改变介质厚度 
过孔绝对高度改变，相对不变

网友回复:

谢谢，有点收获了

网友回复:

lZ 是参照的哪篇文献啊，能不能给个名字啊

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