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lumpport设置不对
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用HFSS做片上电容的仿真，模型如下：
红色部分为电容片capacitor(300nm)，灰色为共面波导传输线CPW（700nm），深蓝色为通孔via（连接CPW中心线和下面的电容片，300nm）
电容片和CPW中间有两层SiO2(150nm+150nm=300nm)，下面的粉红色为Si衬底(380um)。
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参考的是别人做的文件：
尺寸、设定和我的完全一致，结果就是不一样T_T
其中传输线为共面波导CPW形式，中间蓝色部分为通孔，红色为金属，红色和CPW中间隔有SiO2。现在要计算这个贴片电容的C值，公式为：
C=10^15*im(Y(1,1))/(2*3.14*freq)
(因为freq为GHz所以前面有10^15的系数)
扫频范围1030GHz，中心频率20GHz。
lumpport如图：
结果如下,计算得到的C=-12563.6412：
我看过其它人尺寸和我一样，做出来的结果为：
尺寸和lumpport设置、求解设置都和我一样，但是结果就是不一样，有没有高手遇到过类似的情况，或者帮我看看是哪里出了问题?
把模型和参考的资料贴出来看看
模型：
红色部分为电容片capacitor(300nm)，灰色为共面波导传输线CPW（700nm），深蓝色为通孔via（连接CPW中心线和下面的电容片，300nm）
电容片和CPW中间有两层SiO2(150nm+150nm=300nm)，下面的粉红色为Si衬底(380um)。
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参考的是别人做的文件：
尺寸、设定和我的完全一致，结果就是不一样T_T
申明：网友回复良莠不齐，仅供参考。如需专业解答，请学习易迪拓培训专家讲授的HFSS视频培训教程。
