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求教关于画DT multi-bit delta-sigma调制器电容阵列版图时的经验

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最近在画一个0.13um下的4bit 离散时间delta-sigma调制器,我采用的是采样与反馈电容共用的结构,就是说要把采样电容平均分成15份,综合考虑性能和面积后,有一级的最小电容只有30fF! (这样的取值是否有问题?)如果版图处理不好,性能肯定惨不忍睹了(我现在没加DEM@@),不知大家有没有详细分析这方面考虑的文档也请有经验的您们不吝赐教啊!

这么小的电容直接画是不是工艺上都不支持?


smic 0.13um似乎最小可以到10uF

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