salicide和polycide工艺的区别,哪个会影响光电器件特性
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请教各位:salicide和polycide工艺的区别是什么,据我所知salicide会在源、漏和栅区形成金属硅化物,如果设计光电器件会影响器件出光或接收光吗?charter 0.35um mixed signal 工艺是salicide还是polycide ?
salicide会有影响的,金属会遮光。polyside只在poly上长,应该影响小吧。
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进来学习下 不了解polyside
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