有 做MEMS 仿真的吗？
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做MEMS 仿真用什么软件最好?
HFSS
商业的有coventorware，mems pro， IntelliSuite 一般的有限元软件 有Ansys, Comsol
做结构的电磁仿真用HFSS的多
请问做mems的电路如何仿真?MEMS部分用宏模型来替代吗?
coventorware是一个MEMS集成设计的软件，它有系统级仿真和有限元仿真，并且可以设计工艺流程和画版图，还比较好用
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