关于slot wafer corner的认识？
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据我了解的slot wafer corner之间有两种不同的认识：
一种是： 不同slot是不同corner，而一个wafer上只有一个corner
另一种是：一段时间的slot集中到同一个corner，而一片wafer上有多种corner
请有经验的达人分享经验.......
这个还不了解，继续关注长见识
我觉得吧，应该是第一种
不同slot是不同corner，而一个wafer上只有一个corner 这一般是designer要跑的corner lot； 另外一种是FEM, 这种可以在wafer上不同的区域调节CD，但是没有办法做不同的implant，一般是fab用来检验CD对某些东西的影响的。
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