有关Silvaco TCAD的入门
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本人以前没有接触过关于半导体工艺和器件方面的知识!
我看过Silvaco TCAD入门的治疗,大体知道TCAD使用方法,下个几个问题像大家请教一下,
1.我看半导体工艺方面的书发现,工艺都是对于相对的transistor来做的,如果做其他器件仿真,比如说我最近要做的霍尔传感器(CMOS工艺),工艺流程和做一个transistor一样吗?
2.工艺工程中的一些参数应该从哪里得到?(比如离子注入时候的压强等等)
麻烦各位说的详细一点,谢谢!
我看过Silvaco TCAD入门的治疗,大体知道TCAD使用方法,下个几个问题像大家请教一下,
1.我看半导体工艺方面的书发现,工艺都是对于相对的transistor来做的,如果做其他器件仿真,比如说我最近要做的霍尔传感器(CMOS工艺),工艺流程和做一个transistor一样吗?
2.工艺工程中的一些参数应该从哪里得到?(比如离子注入时候的压强等等)
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