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silvaco语法求助~~~~

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# Set TMA Values for Phosphorus diffusion in Oxide
这句话是什么意思?
主要是这个TMA是什么的缩写?
帮忙

最头疼这种缩写了
LZ查过MANNUL没

GaAs (from http://www.ioffe.rssi.ru/SVA/NSM/Semicond/GaAs/index.html)
material material=GaAs INDEX.FILE=opt/GaAsp.opt EG300=1.424
我看了一扁论文,其中有一个需要用到GaAsp.opt这文件,可是找不着,有没有人懂何处找?谢

是model吗

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