PMOS的沟道导电部分主要是哪里
至少以前是在氧化层下面一点,现在工艺不知道变什么样了
小编你能说说为啥你觉得底部是主要的呢?
起因是这样的,在看拉扎维噪声那章时(P177)看到说PMOS运输空穴是在“埋沟”中,这是对比与NMOS的在沟道表面输运载流子而言的。然后就开始想PMOS的埋沟。 PMOS的载流子是空穴,但是仔细一想PMOS中空穴的形成,PMOS沟道中的能形成“空穴”的位置的位置应该固定的,机理也是电子在各个“空穴
"的位置之间跳跃运行,这样反射出好像是空穴在运动,但是”空穴“位置的固定就限制了空穴的分布不能想NMOS电子那样可以积累在沟道的表面,所所以换句话说,”空穴“的位置是均匀的分布在沟道中的(这里对于均匀掺杂的沟道),而那里有电子的跳跃,那里就会有空穴的运动,那里就能导电,由于PMOS的栅压为负(相对于衬底),所以,沟道表面得电子受到从栅极来的垂直于沟道的电场的排斥,所以说主要的电子还是集中在PMOS沟道的远离表面的地方,所以才有了说是PMOS导电感觉主要是沟道的底部部分的说法。
上面的说法只是我个人的理解,希望大家一块讨论哈……
不能仅凭想象。想想沟道是怎么形成的。要先反型,在沟道内积累空穴。空穴是大量电子移动的等效,并不是不动的。如果你觉得电子多才导电,那为什么本征半导体的电电阻率比P型半导体的大呢?
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