计算跨导时，栅氧层电容Cox值取多少

每个例子都不一样，一般工艺文件中就有，但拉扎维的习题我就不知道了

(介电常数*8.854*10e-12) / tox
用这个公式，工艺不同tox不同，一般sansen认为 tox=Lmin/50 但是也不尽然。

Cox=εr*ε0*S/tox;
ε0=8.85*10^(-12),真空介电常数;
εr=3.9,二氧化硅的相对介电常数；
S是单位面积，一般取平方微米；
tox是唯一和工艺相关的，自己从model中找吧；
这样算出的数值应该和仿真比较接近；

    看看分析过程是否对，结果是手算的，有差别正常啊

    对的

一般而言，对于0.5um的工艺，Cox大约是3.4fF/平方微米，L越小，Cox应该以同样的比例增加。

谢谢喽，嘿嘿

小弟也遇到同样问题，求大神降临

手算可以取粗略的值

好像是一个工艺库 Cox的值就相对是固定的；

申明：网友回复良莠不齐，仅供参考。如需专业解答，请学习本站推出的微波射频专业培训课程。