CSMC的CMOS、Bicmos、BCD工艺中为什么Contact/Via的尺寸都是固定的？
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有谁知道，CSMC的CMOS、Bicmos、BCD工艺中为什么Contact/Via的尺寸都是固定的，比如0.4*0.4,为什么不能大也不能小呢?这在工艺中是出于什么考虑的?一直想弄明白为什么，有谁知道的?请教下高手！谢谢！
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