Sentaurus 问题请教
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请教前辈高人，
DIFFUSION TEMP=1100 TIME=2 WETO2 PRESSURE=0.2
请问上面这句TSUPREM4的语句翻译成Sentaurus的语句是什么? 我按照上面那样写 出现下面的问题。
我用了gas_flow， 但是不知道flowO2= ?
谢谢！
** Warning **
No explicit gas flow specification; Total pressure setting is ignored ！
... continuing execution
DIFFUSION TEMP=1100 TIME=2 WETO2 PRESSURE=0.2
请问上面这句TSUPREM4的语句翻译成Sentaurus的语句是什么? 我按照上面那样写 出现下面的问题。
我用了gas_flow， 但是不知道flowO2= ?
谢谢！
** Warning **
No explicit gas flow specification; Total pressure setting is ignored ！
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自己顶一下 求助求助
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