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微尺度下新型MEMS滤波器的研究
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微尺度下新型MEMS滤波器的研究
内容简介：分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据.若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的 MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验.
作者：赵继德, 李应良, 马传龙,
关键词：微尺度, 微机械技术, 滤波器, 共面波导
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