关于MIM电容的DRC error
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小弟调用UMC库MIM电容的pcell，最终电路做DRC，总是报告MIM电容的错误。
error提示： The minimum overlap of M1 ground plate to LSM(ME3) is 10um
这个是什么意思啊?MIM使用的M4-M3层金属。为什么会提示这个错误呢?有没有遇到过的大神给解释下?谢谢了
error提示： The minimum overlap of M1 ground plate to LSM(ME3) is 10um
这个是什么意思啊?MIM使用的M4-M3层金属。为什么会提示这个错误呢?有没有遇到过的大神给解释下?谢谢了
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