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有谁知道TSMC 0.13um 工艺参数

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如题:NMOS/PMOS
uCox=?
Vsat=?

谁知道SMIC 0.18的工艺参数,谢谢告知。

估算:

N:112
P:30
vto 全为0.7

我也需要,哪位大侠提供一下?

TSMC .13也有好多不同的变种好像,就算是同一个process里面也有好多种不同的NMOS/PMOS

0.13的貌似N为0.4、p为0.3
不同的工艺可能略有不同。
论文Cox而言,自己算算很容易的。介电常数除以栅氧厚度。

我上面说的是高开启电压的管子
另一种是0.4左右的低开启管子

Vth0 0.45~0.5左右!

3...........................

thanks.........

0.4  300

如何查看啊

dddddddddddddddddd

0.13 工艺还是很复杂的!

Kn=380,kp=90

xiexie啦.........

还是不懂……

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