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反射相移对MEMS滤波器半峰全宽影响分析

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反射相移对MEMS滤波器半峰全宽影响分析

内容简介：以典型的基于MEMS的FP腔结构为例,用传输矩阵方法推导了考虑反射相移的半峰全宽的解析表达式.利用此解析表达式分别模拟了考虑反射相移的半峰全宽与干涉级次和FP腔两反射镜间距的关系,并将其与不考虑反射相移的半峰全宽进行了对比;同时将反射相移和反射率对半峰全宽的影响进行了比较分析.

作者：殷学会, 李承芳, 吴晓平, 胡强高,

关键词：MEMS, 可调滤波器, 法布里-珀罗腔, 半峰全宽, 反射相移

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