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基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
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基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
内容简介：介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点.滤波器截止频率的大小取决于MEMS开关的状态.实验结果表明,当MEMS开关受到激励时,低通滤波器的3-dB截止频率从12.5GHz转换至6.1GHz,带内纹波小于0.5dB,带外抑制大于40dB,开关的驱动电压在25V左右.
作者：刘蕾, 郭兴龙, 欧阳炜霞, 赖宗声,
关键词：微机械系统(MEMS), 可调滤波器, 共平面波导(CPW)结构, 多触点MEMS开关
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